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壓電 · 線性位移臺

  • 產品型號:LS65x.Lab.O / .R (閉環)
  • 產品時間:2025-04-02
  • 簡要描述:? 超安靜運動, 20 kHz驅動頻率
    ? 65 mm × 65 mm × 12 mm極緊湊外形設計
    ? 閉環控制 · 位置傳感?持電阻型(.R) 和光學型(.O
  • 產品介紹

壓電 · 線性位移臺— LS65x.Lab.O / .R (閉環)

室溫 ·壓電運動解決?案 —“.Lab 系列“ 良好封裝的位移臺

外形緊湊,動?性能不折扣的壓電線性臺;同時保證優質的價格空間。

壓電 · 線性位移臺— LS65x.Lab.O / .R (閉環)產品特?

• 超安靜運動,  20 kHz驅動頻率

• 65 mm × 65 mm × 12 mm極緊湊外形設計

• 閉環控制 · 位置傳感?持電阻型(.R) 和光學型(.O)

• ?精度 · 空間傳感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可選

• 經濟型 · 空間傳感分辨率(.R) 100-200nm

• 最?步伐優于 10 nm

• 可提供多軸堆疊安裝轉接件

• 控制器兼容旋轉臺,搖擺臺

• ?持?磁( .NM)、?真空( .HV)和超?真空  ( .UHV)選件

2D ·尺?圖

LS65x.Lab.O / .R 壓電線性臺 — 技術參數

可選版本 ?

正常版本

.NM

.HV

.UHV

.NM     絕對?磁版本;

.HV,     ?真空版本 ;

.UHV ,超?真空版本;

1        底?尺?*?度

65 × 65 mm × 12 mm

2        主體材料

不銹鋼

純鈦

不銹鋼

不銹鋼

3        線纜 & 接頭

標準屏蔽線纜

DSub9 接頭

kapton漆包線,

PEEK-2mm插針

運動參數-空間推薦安裝形式 I.  (下列性質均在推薦安裝形式下測得)

4        運動?程

30 mm

5        最?速度

~ 20 mm/s

6        最?步伐

~ 10 nm

7        驅動頻率

Max. 20 kHz   (超安靜運動)

8        最??平推?

2 N

9        保持?

5 N


0.3 mrad / 0.2 mrad

10       全?程俯仰/偏擺


運動參數-空間推薦安裝形式 II.  (下列性質均在推薦安裝形式下測得)

11

最?垂直負載

2 N

12

保持?

5 N

傳感精度

13       位置傳感類型

- 電阻型傳感( .R )

- 光柵尺傳感( .O )

14       位置傳感量程

30 mm

15       位置傳感分辨率

- 電阻型傳感( .R ),   100-200 nm

- 光柵尺傳感( .O ),   10 nm,   1nm可選(默認 10nm)

 

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